二氧化碳发泡机

二氧化碳发泡机又称超纯水抗静电装置、超纯水电阻率调节装置，是半导体切割工序的必备设备；在半导体行业生产中，使用超纯水有助于提高产品良品率，但是超纯水具有很高的电阻率，因此也容易在产品表面产生静电，对产品造成伤害。二氧化碳发泡机就是为了解决这一问题而研制，向高电阻率的超纯水中添加二氧化碳来降低超纯水的电阻率，防止在划片/清洗制程中产生静电而损伤产品。

特点：
机器结构紧凑、占地面积小；
安装方便、操作简单、性能稳定、故障率低；
有效防止静电破坏产品，提高良品率，降低企业生产成本
超纯水电阻率可方便精准地设定在0.2-2MΩ•CM范围内
电阻率超出设定范围时，报警灯和蜂鸣器提示

规格参数：

型号参数	COII-2000L/H		COII-3500L/H
纯水压力	0.3-0.5Mpa		0.3-0.5Mpa
纯水温度	5~35ºC		5~35ºC
阻抗设定范围	0.2~2MΩ·CM		0.2~2MΩ·CM
供水能力	300~2000L/H		300~3500L/H
供电电源	单相AC220V±10%		单相AC220V±10%
耗电功率	≤80W		≤90W
外形尺寸 (WDH)	5264101156 mm		5264101156 mm
重量		≤45Kg	≤50Kg