二氧化碳发泡机
分类: 半导体设备  发布时间: 2018-01-04 15:07 

二氧化碳发泡机
二氧化碳发泡机又称超纯水抗静电装置、超纯水电阻率调节装置,是半导体切割工序的必备设备;在半导体行业生产中,使用超纯水有助于提高产品良品率,但是超纯水具有很高的电阻率,因此也容易在产品表面产生静电,对产品造成伤害。二氧化碳发泡机就是为了解决这一问题而研制,向高电阻率的超纯水中添加二氧化碳来降低超纯水的电阻率,防止在划片/清洗制程中产生静电而损伤产品。 

特点:
机器结构紧凑、占地面积小;
安装方便、操作简单、性能稳定、故障率低;
有效防止静电破坏产品,提高良品率,降低企业生产成本
超纯水电阻率可方便精准地设定在0.2-2MΩ•CM范围内
电阻率超出设定范围时,报警灯和蜂鸣器提示


规格参数:

      型号
参数
   COII-2000L/H
COII-3500L/H
纯水压力
0.3-0.5Mpa
0.3-0.5Mpa
纯水温度
5~35ºC
5~35ºC
阻抗设定范围 
0.2~2MΩ·CM
0.2~2MΩ·CM
供水能力
300~2000L/H
300~3500L/H
供电电源
单相AC220V±10%
单相AC220V±10%
耗电功率
80W
90W
外形尺寸 (W*D*H)
526*410*1156 mm 
526*410*1156 mm 
重    量
45Kg
50Kg




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