手动减薄贴膜机
分类: 半导体设备  发布时间: 2018-01-30 11:09 

手动减薄贴膜机
BGM系列减薄贴膜机用于晶圆研磨前的贴膜工序,配备精密导轨和进口温控系统,使机器整体性能稳定,操作方便快捷。

特点: 

  • —适用于蓝膜、UV膜、PET衬底膜及其它单/双层膜;
  • —防静电特氟龙处理的工作盘可有效保护芯片;
  • —圆切刀和横切刀采用进口手术刀片,割膜无毛刺;
  • —圆切刀具有加热功能,能够更好的割膜;
  • —滚轮的弹力可调整,适应不同厚度的产品;
  • —可选装除静电离子棒。


技术参数:

型号
BGM-150
BGM-200
BGM-300
适用产品尺寸
6 inch
8 inch
12 inch
台盘加热范围
室温-80°C
室温-80°C
室温-80°C
电源
单相AC220V
单相AC220V
单相AC220V
压缩空气
0.5-0.8 MPa
0.5-0.8 MPa
0.5-0.8 MPa
机器尺寸 W*D*H
400*850*350 mm
430*850*350 mm
900*1000*600 mm
机器重量
40 Kg
40 Kg
80 Kg


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