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二氧化碳发泡机

二氧化碳发泡机

二氧化碳发泡机又称超纯水抗静电装置、超纯水电阻率调节装置,是半导体切割工序的必备设备;在半导体行业生产中,使用超纯水有助于提高产品良品率,但是超纯水具有很高的电阻率,因此也容易在产品表面产生静电,对产品造成伤害。二氧化碳发泡机就是为了解决这一问题而研制,向高电阻率的超纯水中添加二氧化碳来降低超纯水的电阻率,防止在划片/清洗制程中产生静电而损伤产品。

特点:
机器结构紧凑、占地面积小;
安装方便、操作简单、性能稳定、故障率低;
有效防止静电破坏产品,提高良品率,降低企业生产成本
超纯水电阻率可方便精准地设定在0.2-2MΩ•CM范围内
电阻率超出设定范围时,报警灯和蜂鸣器提示


规格参数:

      型号

参数

   COII-2000L/H

COII-3500L/H

纯水压力

0.3-0.5Mpa

0.3-0.5Mpa

纯水温度

5~35ºC

5~35ºC

阻抗设定范围 

0.2~2MΩ·CM

0.2~2MΩ·CM

供水能力

300~2000L/H

300~3500L/H

供电电源

单相AC220V±10%

单相AC220V±10%

耗电功率

80W

90W

外形尺寸 (W*D*H)

526*410*1156 mm 

526*410*1156 mm 


重    量

45Kg

≤50Kg



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