• 半自动UV照射机
半自动UV照射机

半自动UV照射机

半自动UV照射机

特点:

采用LED整体面光源照射,光源均匀性好(偏差可控制在8%以内),光源寿命长达9000-11000小时;
工作台面自动打开与关闭,手动上下料,工作完成有提示;
 照射时间可通过触摸面板设定,照射强度为30-300mw/cm2,可通过触摸面板调节;
可按不同的照射时间设定3组常用的照射程序,方便随时调用;
规格参数:
型号BUV-100LBUV-200L
Wafer尺寸8英寸及以下12英寸及以下
Frame尺寸8英寸/ 客户指定12英寸/ 客户指定
UV膜厚度0.05~0.2   mm0.05~0.2   mm
光源尺寸有效面积220mm*220mm   (240*240)有效面积320mm*320mm   (340*340)
LED光源波长365nm+/-5nm365nm+/-5nm
产能90-110/小时90-110/小时
电源220   V50/60 Hz5A220   V50/60 Hz5A
压缩空气0.5   MPa 0.5   MPa 
外形尺寸W*D*H800mm    ×500mm  ×330mm800mm   ×750mm ×400mm
重量55kg65kg


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